No.26 芯片江湖之光刻世界大战

主播 ｜潇磊 刘飞

本期是半拿铁芯片江湖系列收官之作，我们压轴聊到了半导体工业皇冠上的明珠——光刻机。从美系厂商制霸天下到日系双雄如日中天，再到今日王者荷兰 ASML 焊死在铁王座上，这一路的风云变幻在摩尔定律的裹挟之下谱写了尖端科技战场厮杀的冷酷无情和上位者赢家通吃的摧枯拉朽。昔日屠龙少年终成巨龙之后，下一次挥剑斩苍穹的又将会是哪位勇士？

坐吧，来杯半拿铁，我们边喝边聊。

时间轴：

01:31 震惊！95后大一男生低成本 DIY 纳米级光刻机！？

13:45 简单解释一下光刻技术是怎么回事儿

19:03 光刻技术的第一次进步：从接触式光刻机到接近式光刻机

22:02 基于透镜组的步进式光刻机出现，光刻技术进入缩放投影时代

32:39 日本厂商尼康、佳能一路逆袭美系厂商，登上光刻机铁王座

47:57 当代光刻机王者阿斯麦（ASML）正式登场

57:06 阿斯麦一路打怪升级，干到上市

1:10:36 阿斯麦通过浸润式光刻技术实现了最大的一次弯道超车

1:18:03 号称“人类制造的最复杂机器之一”的EUV光刻机，终于出场

1:26:32 分析一下阿斯麦的核心竞争力，以及中国企业有没有可能复制它的成功路线

小彭同学最早发在B站的题为《自制光刻机 微纳加工75µm工艺》的视频：

https://www.ixigua.com/6847745991995556352

早期工程师们在雕刻光掩模母版：

反射式投影光刻原理：

1978年GCA公司正式推出的首款步进式光刻机（本期所说的二代机）：

光刻机的透镜数量：

1984年，阿斯麦刚成立时的办公地是飞利浦大厦前的简易木棚房，就是图中紧挨垃圾桶的小房子：

阿斯麦极紫外（EUV）光刻机：

EUV光刻机光路图，这版包括11面反射镜：

EUV光刻机反射镜：

部分参考资料：

《光刻巨人：ASML崛起之路》 瑞尼·雷吉梅克/金捷幡译

《纳米级光刻机还能自制？成本超低！这个男生做到了》 呵

《95后UP主“自制光刻机”，媒体夸大报道后遭行业专家“打假”》 胡巍巍

《如何看待「本科生自制光刻机」这一报道？有哪些意义和局限性？》 知乎Owen Chen等

《从“小破厂”到全球一哥，光刻机巨头ASML的周期逆袭史 |【穿越周期的冠军】》 经纬创投

《揭秘光刻机巨头：ASML》 今日半导体

《光刻机变迁史（上）：盘古初开&群雄争霸》 三少pollux

《光刻机之战》 金捷幡

《对华禁售的阿斯麦高端光刻机，凭什么做到了“一家独大”?》 陈启

《阿斯麦封神记：打败尼康，扼住了全球半导体芯片的咽喉》 蒋培宇

《外国参与美国资助的研究与开发：极紫外线光刻技术（EUV）项目，新现实的新模式》Michael Borrus

《浸入式光刻技术》 张汝京等

《如何看待爆料上海微电子明年将交付28nm光刻机一事？是否属实？》知乎

《高端光刻机有哪些不可思议、神乎其神的高科技？》知乎 天枢

《光刻机巨头ASML最大股东是谁？》 半导体行业联盟

《拿到图纸，也造不出光刻机，这可不是开玩笑，ASML凭什么这么牛》 114产学研

《不卖EUV给中国大陆，"是政府们的选择"》 观察者网 吕栋

《全世界都要找这家荷兰公司买光刻机？揭秘ASML的崛起之路》 中国经济周刊

《专访ASML首部传记作者：很难有第二家公司能取得光刻机的成功》经济观察报 沈怡然 李紫萱

特别鸣谢：

小助理黄凝凝对本文资料梳理亦有贡献

片尾曲：

胡彦斌《煎饼侠》选段